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介紹薄膜測厚儀的測試原理及操作方法
更新時(shí)間:2022-04-08
技術(shù)文章
薄膜測厚儀是一種常用的薄膜厚度檢測方法,采用機械接觸式測量標準,適用于2mm范圍內各種薄膜、復合膜、紙張、金屬箔片等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度準確測量,誤差小,操作簡(jiǎn)單方便,滿(mǎn)足GB/T 6672《薄膜和薄片厚度測定 機械測量法》等標準。
薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離。對于微電子薄膜而言,如光學(xué)薄膜,抗氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導薄膜等,其厚度是一個(gè)非常重要的參數,直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。除此之外,薄膜的厚度也會(huì )直接影響到薄膜材料的力學(xué)性能,透光性能,磁性能,熱導率,表面結構等。
測試原理
將預先處理好的薄型試樣的一面置于下測量面上,與下測量面平行且中心對齊的上測量面,以一定的壓力,落到薄型試樣的另一面上,同測量頭一體的傳感器自動(dòng)檢測出上下測量面之間的距離,即為薄型試樣的厚度。
薄膜測厚儀操作方法介紹
根據國標中的要求,對同一張薄膜選取10個(gè)測試點(diǎn),薄膜厚度測量方法如下:
1、將兩個(gè)激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方,把傳感器固定在支架上。
2、打開(kāi)儀器,設置參數,放置對比量塊,點(diǎn)擊“確認”。
3、取走滑塊,重新設置與步驟(2)相同的參數,放入薄膜試樣。
4、分別取10個(gè)不同的點(diǎn),位置盡量錯開(kāi),避免因距離太近影響數據。
5、測量值通過(guò)串口傳輸到計算機,再通過(guò)在計算機上的測厚軟件進(jìn)行處理,得到目標的厚度值。
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