薄膜測厚儀的檢測方法

　　對于薄膜厚度的測量，通常需要借助儀器來(lái)實(shí)現。根據行業(yè)標準，薄膜厚度檢測需要專(zhuān)業(yè)的薄膜厚度測量?jì)x，行業(yè)中規薄膜材料的厚度測量分為機械接觸時(shí)測量和非接觸式測量?jì)煞N方式。在這里我們以機械接觸式薄膜測厚儀CHY-U為例，來(lái)介紹下薄膜厚度的測量。

　　薄膜測厚儀檢測方法介紹

　　1、將兩個(gè)激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方，把傳感器固定在支架上。

　　2、打開(kāi)儀器，設置參數，放置對比量塊，點(diǎn)擊“確認”。

　　3、取走滑塊，重新設置與步驟（2）相同的參數，放入薄膜試樣。

　　4、分別取10個(gè)不同的點(diǎn)，位置盡量錯開(kāi)，避免因距離太近影響數據。

　　5、測量值通過(guò)串口傳輸到計算機，再通過(guò)在計算機上的測厚軟件進(jìn)行處理，得到目標的厚度值。

　　需要注意的是，在對薄膜進(jìn)行測試之前首先需要準備好試樣，而對于不同尺寸的試樣來(lái)說(shuō)，所需進(jìn)行測試點(diǎn)的數量也是不一樣的：試樣長(cháng)度≤300mm,測10點(diǎn)；試樣長(cháng)度在300mm到1500mm之間，測20點(diǎn)；試樣長(cháng)度≥1500點(diǎn)的，至少測30點(diǎn);對于未裁邊的樣品，應在距邊50mm開(kāi)始測量。

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